يعتمد هذا الجهاز طريقة قياس التداخل البصري بدون تلامس وتحويل الطور، ولا يسبب ضررًا لسطح قطعة العمل أثناء القياس، ويمكنه قياس الرسومات ثلاثية الأبعاد بسرعة للتضاريس الدقيقة السطحية لقطع العمل المختلفة، وتحليل وحساب القياس نتائج.
وصف المنتج
الميزات: مناسبة لقياس خشونة السطح لكتل القياس المختلفة والأجزاء البصرية. عمق شبكية المسطرة والاتصال الهاتفي. سمك طلاء هيكل الأخدود الشبكي وشكل هيكل حدود الطلاء ؛ سطح القرص المغناطيسي (البصري) وقياس هيكل الرأس المغناطيسي؛ خشونة سطح رقاقة السيليكون وقياس بنية النمط، وما إلى ذلك.
نظرًا لدقة القياس العالية للأداة، فهي تتميز بخصائص عدم الاتصال والقياس ثلاثي الأبعاد، وتعتمد التحكم بالكمبيوتر والتحليل السريع وحساب نتائج القياس. هذه الأداة مناسبة لجميع مستويات وحدات الاختبار والقياس البحثية، وغرف قياس المؤسسات الصناعية والتعدينية، وورش المعالجة الدقيقة، كما أنها مناسبة لمؤسسات التعليم العالي ومؤسسات البحث العلمي، وما إلى ذلك.
المعلمات التقنية الرئيسية
نطاق قياس عمق التفاوت المجهري السطحي
على سطح متواصل، عندما لا يكون هناك تغيير مفاجئ في الارتفاع أكبر من 1/4 الطول الموجي بين بكسلين متجاورين: 1000-1 نانومتر
عندما يكون هناك طفرة في الارتفاع أكبر من 1/4 الطول الموجي بين بكسلين متجاورين: 130-1 نانومتر
تكرار القياس: δRa ≥0.5nm
تكبير العدسة الموضوعي: 40X
الفتحة الرقمية: Φ 65
مسافة العمل: 0.5 ملم
مجال رؤية الأداة البصرية: Φ0.25mm
الصورة: 0.13×0.13 ملم
تكبير الصك المرئي: 500×
صورة فوتوغرافية (ملاحظتها على شاشة الكمبيوتر) -2500×
مجموعة قياس جهاز الاستقبال: 1000X1000
حجم البكسل: 5.2×5.2 ميكرومتر
وقت القياس أخذ العينات (المسح): 1S
انعكاس المرآة القياسية للأداة (عالية): ~50%
الانعكاس (منخفض): ~4%
مصدر الإضاءة: مصباح وهاج 6V 5W
الطول الموجي لمرشح التداخل الأخضر: ≥≒530nm
نصف العرض ≒10 نانومتر
رفع المجهر الرئيسي: 110 ملم
رفع الطاولة: 5 ملم
نطاق الحركة في اتجاه X وY: ~10 ملم
نطاق الدوران لطاولة العمل: 360 درجة
نطاق إمالة طاولة العمل: ±6°
نظام الكمبيوتر: P4، 2.8G أو أكثر، شاشة مسطحة مقاس 17 بوصة مع ذاكرة 1G أو أكثر